TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整片晶圓溫度分布；同時(shí)也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過(guò)程及延遲周期等。

測(cè)溫精度高

溫區(qū)自動(dòng)生成

安裝便捷

高可靠性